FSH-EBP係列

       FSH-EBP泵係統是廣州（zhōu）飛升精密自主研發設計,全新推出的集高（gāo）效率、高精度、高穩定性、全數（shù）控於一體的智能型注（zhù）液泵，適用（yòng）於光刻膠、鈣鈦礦（kuàng）等塗布領域。

•  低粒子結構

•  高精度動作

•  液體（tǐ）置換特性好

•  高可靠性結構

•  除泡（pào）性好

•  無汙染（rǎn）

① 泵係統型號

舉例說明（míng）:

型號：FSH-EBP100-G說明:吐出流量範圍為0.1-100ml，標準型（xíng）EBP泵係統。

• 晶圓塗覆（fù）

•  藥液的（de）填充、稱量（liàng）和混合（hé）

•  狹縫塗布

•  光刻膠塗（tú）布

•  磁盤（pán）塗覆