FSH-LA係列

FSH-LA-D-T係列線性注（zhù）液泵是廣州（zhōu）飛（fēi）升自（zì）主研發設計，全新推出的集高效率、高精度、高穩定性、全數控於一體的智能型注（zhù）液泵（bèng），適用於光刻膠、鈣（gài）鈦礦等塗布領域。

• 液體置換特性好

• 除泡性好

• 高精度動作

• 高可靠性結（jié）構
  

①  FSH-LA=線性注液（yè）泵（bèng）型號

② 設備單衝程最大容（róng）量：

      30=單衝程最大容量為（wéi）30ml; 

      300=單衝程最（zuì）大容量為300ml。

舉例說明：

型（xíng）號：FSH-LA30-D-T

說明：單衝（chōng）程最大容量為30ml的標準型線（xiàn）性注液泵係統

產品應用：

•  晶圓塗覆

•  藥液的填（tián）充、稱量和混合

•  狹縫塗布

•  光刻膠塗（tú）布

•  磁盤塗覆

塗布工藝介紹：

工藝目的：在精密石（shí）英基底上獲得均勻、無缺陷的光刻膠膜（mó）層，為後續的光刻/刻蝕工序做（zuò）準備。

定量（liàng）點（diǎn）膠——使（shǐ）用廣州（zhōu）飛升EBP30高精度定量（liàng）泵，將光刻膠精準（zhǔn）滴注於石英基底中心位置。

產品用途——衍射光柵的高（gāo）端應用領域

經精密塗覆與光刻工（gōng）藝製造的產品，已廣泛服務於以下前沿領域：

高功率激（jī）光係統：用於慣性約束（shù）聚變（激光核聚變）中的脈衝壓（yā）縮光（guāng）柵，以及飛秒超快激光脈衝的調節（jiē）與壓縮。

AR/VR 增強現實：作為衍射光波導核心元件，將微顯示器畫麵高效耦入人眼，實現虛（xū）實融合的沉浸式（shì）體（tǐ）驗。

精密測（cè）量與（yǔ）傳感：超高精度位（wèi）移測（cè）量與光（guāng）柵編碼器（qì），廣泛應用於半導體晶圓對位等極（jí）端（duān）精密製（zhì）造設備。

激光分束與整形：將單束（shù）激光分成多束，用於並行激光（guāng）加工（gōng）、激光醫療美容及光通（tōng）信等（děng）多（duō）元應用（yòng）。